根据中国相关法律法规，进行METI备案需要提供以下资料：

企业基本信息：包括企业名称、注册地址、法定代表人等基本信息。

经营范围：详细描述企业的经营范围，包括产品或服务的具体描述。

产品信息：包括产品名称、型号、规格、用途、生产国别等详细信息。

技术文件：提供产品的技术文件，包括产品的技术规格、产品说明书、测试报告等。

质量管理体系文件：提供企业的质量管理体系文件，包括ISO认证证书、质量控制流程等。

安全性评估报告：对产品进行安全性评估，并提供评估报告。

进口合同或采购合同：提供与产品相关的进口合同或采购合同。

相关资质证书：如需要，提供产品的相关资质证书，如特种设备使用证、医疗器械注册证等。

其他相关文件：根据具体要求，可能需要提供其他相关文件，如产品的标签、包装信息等。 

需要注意的是，不同的产品和行业可能对METI备案的具体要求有所不同，以上资料仅为一般情况下的参考，具体要求需根据实际情况和相关法规进行确认。此外，在进行METI备案前，建议咨询相关部门或专业机构，以确保提供的资料符合要求。